О предприятии
Целями разработок являются:
- Опережающее (более чем в 10раз) развитие нанометрологии на основе мер нового типа- не статических, а мер перемещения на основе монокристаллических линейных манипуляторов;
- Повышение эффективности (на основе эффекта туннелирования света) более чем на десятки процентов излучения самых лучших светодиодов;
- Многократное улучшение пространственного разрешения микроскопов за счет локализации электромагнитного излучения оптического диапазона в интегральных металло-оптических волноводах.
Краткий перечень основных направлений разработок и производства:
- Меры, линейные манипуляторы нано- пико –фемто и аттометрового диапазонов.
- Специализированные аналого- цифровые высоковольтные электронные системы управления на сигнальных процессорах.
- Оптические интерферометры нано- пико и фемтометрового диапазонов.
- Специализированное программное обеспечение для обработки результатов интерферометрических измерений при амплитудах сигналов ниже уровня шумов.
- Технология лазерного нанесения эксимерными лазерами, невидимой оценщиками, наномаркировки на алмазных материалах.
- Оптоэлектронное оборудование для считывания наномаркировки.
- Туннельные светодиоды с повышенной внешней квантовой эффективностью.
- Спецпинцеты для захвата, перемещения, активации и осаждения макро, микро, нано и пикометровых частиц.
- Ближнепольные волоконно-оптические микроскопы (включая интегрально- оптические зонды, волоконно- оптические интерферометры, наноманипуляторы, электронную систему управления и специализированное программное обеспечение).
- Лабораторные работы по нанометрологии, нанотехнологии и наномеханике.
Техническое превосходство данных разработок, востребованность для практических приложений во всех странах, являются основой их экономической эффективности.
Одной из важнейших разработок, подтверждающая правильность проводимых измерений в нано и пикометровом диапазонах, является разработка мер перемещения.
В настоящее время пришла пора применения эталонов нанометрового диапазона с размерами в единицы и доли нанометров, которые могут работать не только в вакуумных установках, но и в реальных лабораторных и промышленных условиях с уровнем запыленности более 10 тыс. пылинок в литре. Мы разрабатываем меры нано и пикометрового диапазона, но не статические, а принципиально нового типа- активные, основанные на управляемом электрическим напряжением перемещении.
В настоящее время в «Нано-Атто Метрия» экспериментально подтверждена работоспособность мер в нанометровом, субнанометровом и во всем пикометровом диапазонах.
Продолжаем разработки, создавая задел для работ в фемтометровом и аттометровом диапазонах. Для измерения столь малых перемещений мы разработали интерферометры различных типов, которые могут встраиваться в метрологическое и технологическое оборудование, а также использоваться автономно. Мера перемещения, работающая во всем нанометровом диапазоне, позволяет заменить любой набор статических мер нанометрового диапазона, а также обеспечить калибровку измерительных установок в диапазоне даже значительно меньших размеров одиночного атома.
Для освоения данной техники в МГУ и МИРЭА проводятся лабораторные работы и читаются лекции. Сборник лабораторных работ, включающий обучение мерам перемещения вошел в состав лучших лабораторных работ страны и переиздавался.
Аналоги, позволяющие передавать размер длины одним образцом в столь широком диапазоне (в миллиарды раз) отсутствуют.
Демонстрация мер перемещения и оптических интерферометров, а также доклады о них производились на международных конференциях- выставках:
- MESUREXPOVISION 2011 (Франция).
- NANOTECH 2012 (США).
- NANO TECH 2012 (Япония).
- Nanoscale 2013 (Франция).
- NANOTECH 2013 (США).
- Метрология в нанотехнологиях (Росстандарт) 2014.
- Нанотехнологии-производству 2014 (Наукоград Фрязино, Россия) 2014.
- «КООМЕТ» 2014г (Россия).
- EURONANO 2015 (Латвия).
- Метрологическая выставка, Москва, ВДНХ, 2015
(на 11 Московском международном инновационном форуме).
Кроме того на международных выставках и конференциях STRATEGIES IN LIGHT EUROPE 2013, HANNOVER MESSE - 2014 (GERMANY) демонстрировались образцы светодиодов видимого и инфракрасного диапазонов с повышенной на десятки процентов внешней квантовой эффективностью.
На основе достигнутых результатов разрабатывается ряд приложений: уникальный оптический чип, ближнепольный оптический зондовый микроскоп и т.д.
Разработки, изготовление и испытания выполняет коллектив специалистов в областях: технологий интегральной оптики, гибридных и монолитных электронных схем, технологий лазерной обработки, нанотехнологий локального осаждения.