Оптические интерферометры могут использоваться в виде автономных и встраиваемых устройств в:
- сканирующих зондовых туннельных, атомно-силовых и ближнепольных оптических микроскопах;
- наноинденторах;
- нанотехнологических установках;
- высокочувствительных оптических сенсорах располагаемых в труднодоступных местах.
В оптических интерферометрах для получения высокого пространственного разрешения необходимо использовать лазеры со стабильной частотой излучения и стабильным волновым фронтом.
Наиболее распространенным типом метрологических лазеров являются гелий неоновые. Повышение стабильности частоты излучения в гелий неоновых лазерах достигается применением оптической ячейки с парами иода и следящей системы обеспечивающей подстройку частоты излучения лазера для совпадения с частотой максимального поглощения ячейки. Стабилизацию пространственного положения лазерного излучения в резонаторе обеспечивают дополнительной оптомеханической системой подстройки. Кроме того немаловажным фактором является срок службы данных лазеров. Однако (даже когда они не работали) выход из строя лазеров за счет утечки гелия приводит к необходимости регулярной замены гелий неоновых лазеров.
Наибольшим сроком службы (не зависящим от срока хранения) и пространственной стабильностью положения области излучения характеризуются полупроводниковые лазеры. При применении аналогичной системы стабилизации частоты их стабильность может не уступать стабильности гелий неоновых.
Поэтому, для проведения массовых измерений в научной деятельности, промышленности и обучении, мы сделали в оптических интерферометрах опору на стабилизированные по частоте полупроводниковые лазеры.
Выпускаются следующие типы оптических интерферометров:
- Многомодовые микрооптические со стабилизацией брэгговской ячейкой серии Lite.
- Многомодовые микрооптические со стабилизацией брэгговской и цезиевой ячейкой серии Professional.
- Многомодовые микрооптические с лазерным излучением передаваемым от удаленного лазера по одномодовому волоконному световоду серии Compact.
- Одномодовые с лазерным излучением передаваемым от удаленного лазера по одномодовому волоконному световоду серии Fiber.
Выпускаемые многомодовые интерферометры отличаются от традиционных почти в 10 раз более широким диапазоном допусков на угловые ошибки позиционирования зеркала, отражающего излучение, выходящее из интерферометра. Компенсация угловой ошибки позиционирования отражающего зеркала производится с помощью специализированного программного обеспечения. Поэтому применение многомодовых интерферометров многократно упрощает настройку положения отражающего зеркала, а также позволяет применять конструкционные элементы, изготавливаемые с большими допусками.