Мера перемещения вертикального типа

 
 
 
Меры перемещения горизонтального типа

       Меры предназначены для калибровки по вертикали сканирующих зондовых и электронных микроскопов, нанотехнологических установок, сенсоров механических перемещений.  Меры перемещения являются вторичными эталонами.

       Мера перемещения под воздействием электрического напряжения обеспечивает линейное вертикальное перемещение отсчетной поверхности относительно основания. Высокая точность перемещения обеспечивается применением пьезоматериалов с обратным пьезоэффектом, характеризующихся пренебрежимо малым гистерезисом и крипом.

       Меры перемещения могут использоваться в качестве линейных манипуляторов.

Принцип действия меры вертикального типа

 

 Управление мерой перемещения производиться с помощью электронной системы управления ECS 06

Примеры измерений перемещений меры вертикального типа
под воздействием управляющих сигналов разной формы 

 

 

Калибровочный график зависимости величины амплитуды импульсов перемещения поверхности меры вертикального типа от амплитуды импульсов управляющего напряжения полученный на метрологический интерферометр со стабилизацией частоты излучения цезиевой ячейкой серии Professional.

 

Калибровочный график зависимости величины амплитуды импульсов перемещения поверхности меры вертикального типа от амплитуды импульсов управляющего напряжения полученный на АСМ.

Результаты измерений в диапазоне до 5 пикометров
(при различных значениях управляющих напряжений)

Измерения меры перемещения в пикометровом диапазоне.

Измерения производились при подаче повторяющихся импульсов управляющего напряжения и усреднении результатов измерений методом накопления измеренных сигналов перемещения.

 

График экспериментальных результатов линейной зависимости меры перемещения в пикометровом диапазоне.

Технические характеристики
Амплитуда импульса перемещения >120нм
Амплитуда импульса напряжения ±2000B
Диапазон рабочих температур 15-25 °С
Длина кабеля, не менее 1 м
Габариты меры
Длина 38 мм
Ширина 38 мм
Высота 15,5 мм
Вес 55г
Общий вес 125г