Мера перемещения горизонтального типа

 
 
 
Меры перемещения вертикального типа

       Меры предназначены для латеральной калибровки по сканирующих зондовых и электронных микроскопов, нанотехнологических установок, сенсоров механических перемещений.  Меры перемещения являются вторичными эталонами.

       Меры перемещения под воздействием электрического напряжения обеспечивают линейное горизонтальное (латеральное) перемещение отсчетной поверхности относительно основания. Высокая точность перемещения обеспечивается применением пьезоматериалов с обратным пьезоэффектом, характеризующихся пренебрежимо малым гистерезисом и крипом.

       Меры перемещения могут использоваться в качестве линейных манипуляторов.

Принцип действия меры горизонтального типа

 Управление мерой перемещения производиться с помощью электронной системы управления ECS 06

 

На отсчетной поверхности меры располагают объекты по которым можно определять её смещение. 

 

Перемещение меры горизонтального типа под воздействием управляющих сигналов разной формы полученные на интерферометре.

Калибровочный график зависимости величины амплитуды импульсов перемещения поверхности меры горизонтального типа от амплитуды импульсов управляющего напряжения полученный на метрологический интерферометр со стабилизацией частоты излучения цезиевой ячейкой серии Professional.

 

Калибровочный график зависимости величины амплитуды импульсов перемещения поверхности меры горизонтального типа от амплитуды импульсов управляющего напряжения полученный на АСМ.

 

Технические характеристики
Амплитуда импульса перемещения >500нм
Амплитуда импульса напряжения ±2000B
Диапазон рабочих температур 15-25 °С
Длина кабеля, не менее 1 м
Габариты меры
Длина 38 мм
Ширина 38 мм
Высота 15,5 мм
Вес 55г
Общий вес 125г
Габариты основания
Длина 44 мм
Ширина 44 мм
Высота 7,5 мм
Вес 55г