В ООО «Нано-Атто Метрия» разработаны уникальные, не имеющие аналогов прецизионные меры основанные на управляемом перемещении под воздействием напряжения (запатентованные по PCT W02012/163378A2).
Меры перемещения являются эталоном 1-го разряда, предназначенными для воспроизведения и передачи единицы длины в нанометровом диапазоне.
Меры перемещения, измерялись:
- в Европейском метрологическом центре (PTB Germany) на установке SIS Nanostation.
- в организации Системы Микроскопии и Анализа- Российском филиале транснациональной корпорации FEI, на нанотехнологической установке Quanta 3D (Москва).
- в транснациональной корпорации FEI в Голландии на нанотехнологической установке Quanta 3D.
- ВНИИМС на метрологическом приборном комплексеинтерферометре с метрологическим гелий неоновым лазером.
- В МИРЭА на когерентном фазовом микроскопе лаборатории когерентно фазовой микроскопии.
Преимущества мер перемещения
- Позволяют заменить любой набор статических мер в том же диапазоне.
- Обеспечивают перемещение во всем нанометровом диапазоне 1-100нм и более. Величина перемещения прямо пропорциональна величине управляющего напряжения.
- Минимальный передаваемый размер может быть размером с атом и многократно менее (что невозможно на базе традиционных статических мер).
- Неопределенность передачи размеров составляет доли нанометра и менее.
- Реальный срок службы превышает десятки лет, т.к. величина перемещения отсчетной поверхности не зависит от формы и её состояния.
- Возможна работа в практически любых условиях, а не только в «чистых комнатах» и вакууме.
- Для проведения измерений быстродействия следящих систем выпускаются динамические меры с временем реакции менее десятитысячной доли секунды.
Типы мер перемещения
В мерах перемещения применяются монокристаллические материалы с обратным пьезоэффектом, характеризующиеся пренебрежимо малым гистерезисом и крипом. В зависимости от соотношения направления кристаллографических осей изменяется направление перемещения отсчетной поверхности. В результате, возможно создавать кристаллы характеризующиеся вертикальным или горизонтальным направлением перемещения и меры вертикального или горизонтального перемещения на их основе. В зависимости от конструктивного исполнения выпускаются корпусные или безкорпусные меры перемещения.